半導(dǎo)體設(shè)備中常用直線電機(jī)有哪些？

       在半導(dǎo)體設(shè)備中，根據(jù)電機(jī)結(jié)構(gòu)常用的直線電機(jī)分為兩種：1、平板電機(jī)；2、U型電機(jī)。下面分別從電機(jī)選型抗干擾設(shè)計(jì)和應(yīng)用等幾個(gè)方面舉例說明。

1、平板電機(jī)

       平板電機(jī)可以分為無槽無鐵心，無槽有鐵心和有槽有鐵心。有的應(yīng)用初級比次級長，有的比次級短，應(yīng)用中初級長的為主，電機(jī)級纜隨著動(dòng)子（次級）運(yùn)動(dòng)。以有槽有鐵心為例，鐵心線圈被放進(jìn)一個(gè)鋼結(jié)構(gòu)里以產(chǎn)生鐵心線圈單元，鐵心有效增強(qiáng)電機(jī)的推力輸出。平板具有大推力、高剛度、低嵌齒效應(yīng)等特點(diǎn)，如圖2所示。該型電機(jī)通常用于大推力、長行程，且有一定精度要求的場合。另外，相對U型電機(jī)所需磁鋼減少一半，價(jià)格相對較低。

2、U型電機(jī)

       U型電機(jī)又稱為雙邊型直線電機(jī)，U型槽式直線電機(jī)有兩個(gè)介金屬板之間且都對著線圈動(dòng)子的平行磁軌。動(dòng)子是非鋼的，磁場和推力線圈之間無干擾力產(chǎn)生，最小化了強(qiáng)大的磁力吸引帶來的傷害。非鋼線圈慣量小，允許非常高加速度。該型電機(jī)具有無嵌齒效應(yīng)、較大持續(xù)推力和峰值推力等特點(diǎn)，通常用于中小推力、小步距和高定位精度的場合。其動(dòng)子有T型和L型，其中T型制作成本稍高，?熱性較好。剛性相對平板有鐵心電機(jī)較低，負(fù)載慣量比較好低，對機(jī)械機(jī)構(gòu)裝配要求較高，尤其是動(dòng)子內(nèi)側(cè)端部和定子內(nèi)側(cè)端部的間距要適當(dāng)，若間距過大則電機(jī)輸出力會(huì)出現(xiàn)明顯的衰減。

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